智能微纳传感器前沿技术

课程编码：180202140100P7011Y 英文名称：Frontier Technologies of Intelligent Micro-Nano Sensors 课时：20 学分：1.00 课程属性：科学前沿讲座 主讲教师：毛海央等

本课程的目的在于通过讲述几种典型智能微纳传感器的前沿进展，让学生了解和掌握微纳传感器的敏感机理、先进MEMS/NEMS制造工艺、异构集成技术以及智能（AI赋能）化方法等前沿技术，构建从器件物理到系统集成的完整知识体系。
通过本课程的学习，引导学生跟踪先进制造、柔性电子、生物融合、存算一体传感、海洋传感应用等国际前沿方向，理解技术发展趋势与科学范式变革。

大学物理

第一章 绪论
第1节 绪论 0.5学时
第2节 从IC、MEMS到柔性电子技术 2.5学时
第二章 芯片级导航-MEMS惯性技术
第1节 芯片级导航-MEMS惯性技术 3.0学时
第三章 从环境扰动到可测信号
第1节 从环境扰动到可测信号:设计范式、模型与主动智能变革 3.0学时
第四章 微纳米机器人前沿技术
第1节 微纳米机器人前沿技术 3.0学时
第五章 纳米森林气湿敏传感器
第1节 纳米森林气湿敏传感器 3.0学时
第六章 海洋传感器理论与应用
第1节 海洋传感器理论与应用 3.0学时
第七章 MEMS红外器件制造及其应用
第1节 MEMS红外器件制造及其应用 3.0学时

1.毛海央，中国科学院微电子研究所研究员、博士生导师，兼任山东省智能感知芯片与系统重点实验室副主任，中科院优秀青年创新促进会会员，毕业于北京大学。长期从事集成电路、传感芯片及半导体工艺研究，发表论文140余篇，授权专利66项。主持国家重点研发计划、国家自然科学基金等科研项目20余项，获省级技术发明一等奖、中国发明协会发明成果一等奖等多项奖励，中国产学研合作创新成果一等奖，入选“太湖人才”创新领军人才团。
2.蒋永刚，北京航空航天大学机械工程及自动化学院教授，仿生与微纳系统研究所所长，主要从事仿生感知和微机电系统技术研究。在Nature Communications, Science Advances等高水平期刊发表SCI论文100余篇，授权国内外发明专利30余项。近年来主持了国家重点研发计划、国家自然科学基金联合基金重点项目、优秀青年科学基金项目等国家科研任务10余项，获省部级或协会二等奖3项。
3.赵阳，中国科学院微电子研究所研究员、博士生导师，2016年获中国科学院空天信息创新研究院博士学位后加入微电子所。长期从事生物电子智能传感芯片研究，攻克单细胞固有电学特性高通量检测难题，提出MEMS“压缩通道”敏感新原理，研制传感芯片与智能仪器，并推动其在疾病和药物研究中的应用。发表论文50余篇，获北京市自然科学二等奖、中国仪器仪表学会技术发明二等奖等多项奖励。
4.崔健，北京大学副研究员、高级工程师，现任北京大学集成电路学院院长助理、校级微纳加工平台副主任及测试实验室主任。2011年获北京大学固体电子学与微电子学博士学位，曾赴德国弗莱堡大学微系统研究所访学。长期从事微纳传感器件与系统研究，在MEMS惯性器件、信号检测与处理、器件可靠性及复杂环境补偿校正等方面取得多项成果。承担及参与国家重点研发计划、973项目等科研任务十余项，发表SCI/EI论文60余篇，申请及授权发明专利20余项。
5.黄天云，北京大学助理教授、微米/纳米加工技术全国重点实验室研究员、北京大学机器人研究中心副主任，国家级青年人才。主要从事深腔微机器智能相关研究，在Nature、Science Advances、Advanced Materials等期刊发表多项成果，授权专利29项、标准4项。主持及参与国家级科研项目20余项，现担任中国微米纳米技术学会微纳执行器与微系统分会委员、中国机械工程学会医工装备分会理事、中国力学学会产学研委员会委员、中国科协科普中国专家。
6.温琦，中国海洋大学教授，山东省智能感知芯片与系统重点实验室主任，国家万人计划领军人才、泰山产业领军人才，兼任青岛海研电子有限公司执行董事。长期从事高效能感知计算技术研究，面向极端海洋环境开展低功耗感知与观测装备研发，开发了零功耗电源开关微结构模组及深远海观测装备，实现南极地区30个月以上长期观测。获山东省科技进步一等奖、青岛市科技进步一等奖等多项奖励，拥有授权发明专利23项。
7.周娜，中国科学院微电子研究所高级工程师、硕士生导师，中国科学院青年创新促进会会员，毕业于中国科学院物理研究所。主要从事半导体先进工艺及MEMS硅基传感器研究，开发了多类MEMS传感器制造工艺并实现红外热电堆传感器产业化。发表论文77篇，申请专利140余项，授权50余项，主持及参与多项国家级科研与产业化项目。