薄膜光学
课程编码:4801390803X1P2003
英文名称:Optical Thin Film
课时:60
学分:3.00
课程属性:专业核心课
主讲教师:申振峰
教学目的要求
本课程是光学、光学工程专业硕士及博士研究生的专业课,同时也可以作为光学工程、凝聚态及机械等专业的选修课。本课程主要内容包括:光学薄膜的基础理论、典型膜系介绍、成膜机理及工艺简介、常用的薄膜材料特性。
通过本课程的学习,能够使学生掌握光学薄膜的基础理论,了解薄膜制作方法及相关工艺,了解常用薄膜的性能指标及相关的检测方法,为今后从事的科研工作打下基础。
预修课程
应用光学、物理光学
大纲内容
第一章 光学薄膜的基础理论 12.0学时 申振峰
第1节 麦克斯韦方程组;
第2节 电磁场的基本性质;
第3节 光学薄膜系统特性计算
第4节 薄膜的反射、透射、吸收;
第5节 光学薄膜的透射定理;
第6节 光学薄膜在倾斜入射时的表现;
第7节 考虑到基片背面反射时的情况时的多光束非相干叠加
第二章 分析光学薄膜的几种有效方法 15.0学时 申振峰
第1节 矢量法
第2节 对称膜系等效折射率分析方法
第3节 麦克劳德的导纳轨迹图解技术
第三章 几种典型膜系介绍 12.0学时 申振峰
第1节 增透膜
第2节 分光膜
第3节 反射膜
第4节 滤光片
第5节 特殊膜系
第四章 成膜机理及工艺简介 12.0学时 申振峰
第1节 成膜机理及工艺简介
第五章 常用的薄膜材料特性 9.0学时 申振峰
第1节 常用的薄膜材料特性
参考书
课程教师信息
申振峰,博士学位,现就职于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学集成制造中心,研究方向为光学薄膜与功能薄膜的研究与制备,参与多个重大科研项目和工程任务的光学薄膜的研制工作。目前发表论文30余篇,授权专利3项。