材料的气相沉积制备技术

课程编码：280223085601M3003 英文名称：Materials Preparation Technology-- Vapor Deposition 课时：40 学分：2.00 课程属性：专业课 主讲教师：曹乘榕等

通过本课程的学习，不仅能够帮助学生了解和掌握薄膜材料相关基础知识、研究方法及异质外延技术，奠定从事薄膜材料科学研究必备的专业知识基础，还能够帮助学生掌握和熟悉各种重要材料的气相沉积制备技术的原理、设备构造与设计建造技术、材料制备生长工艺及应用，激发从事材料科学研究的兴趣，提升实验技能与实践能力，为我国材料科学领域培养创新型研究人才和高素质产线工程师。

大学物理、无机化学、固体物理

第一章 绪论 2学时 曹乘榕
第1节 材料的气相沉积制备技术应用概要介绍
第2节 《材料的气相沉积制备技术》课程学习内容
第3节 《材料的气相沉积制备技术》课程学习目标
第二章 薄膜材料相关基础知识 6学时 曹乘榕
第1节 薄膜材料相关基础知识
第2节 薄膜材料研究方法
第3节 薄膜材料异质外延技术
第三章 真空技术 2学时 曹乘榕
第1节 真空概念
第2节 真空泵
第3节 真空配件
第4节 真空腔室
第5节 真空系统
第四章 物理气相沉积 12学时 张鹏超
第1节 物理气相沉积（PVD）概述
第2节 真空蒸发镀膜
第3节 真空溅射镀膜
第4节 真空离子镀膜
第五章 化学气相沉积 16学时 张鹏超
第1节 化学气相沉积（CVD）概述
第2节 常压化学气相沉积（APCVD）
第3节 低压化学气相沉积（LPCVD）
第4节 等离子体辅助化学气相沉积（PECVD）
第5节 原子层沉积（ALD）
第6节 金属有机物化学气相沉积（MOCVD）
第7节 近常压化学气相沉积（NAP-CVD）

曹乘榕，中国科学院物理所特聘研究员，博士生导师，长三角物理研究中心金属平台负责人，科学家工作室主任，长期从事金属材料的研究工作，对开拓先进金属材料的性能调控手段和应用有着丰富经验。
张鹏超，长三角物理研究中心高级工程师，国科大南京学院硕士生导师，长期从事于材料表面改性技术方面的研究工作，对气相沉积领域有着丰富的经验和认识。