微纳加工技术与应用

课程编码：280230085601M5002 英文名称：Micro-nano Machining Technology 课时：40 学分：1.00 课程属性：实验课 主讲教师：郭炜

本课程为物理、化学、电子、材料等专业硕士生和博士生的普及课，目的是使学生掌握各种微纳加工的基本原理，为未来研究打下很好的器件制备基础。本课程综合介绍微纳米加工技术的基础，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，分析各种技术的优缺点，列举大量图表与实例来帮助学生们学习和理解。通过本课程的学习，学生不仅可以掌握纳米器件制造的基本工艺和原理，同时也可以了解到当前工业界以及研究领域最新的工艺趋势。

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第一章 微纳米加工技术简介 4.0学时 郭炜
第1节 微纳米加工技术简介
第二章 光学曝光技术 4.0学时 郭炜
第1节 光学曝光技术
第三章 电子束曝光技术 4.0学时 郭炜
第1节 电子束曝光技术
第四章 聚焦离子束加工技术 4.0学时 郭炜
第1节 聚焦离子束加工技术
第五章 扫描探针加工技术 4.0学时 郭炜
第1节 扫描探针加工技术
第六章 复制技术 3.0学时 郭炜
第1节 复制技术
第七章 沉积法图形转移技术 4.0学时 郭炜
第1节 沉积法图形转移技术
第八章 刻蚀法图形转移技术 3.0学时 郭炜
第1节 刻蚀法图形转移技术
第九章 间接纳米加工技术 4.0学时 郭炜
第1节 间接纳米加工技术
第十章 微纳米加工技术的应用 6.0学时 郭炜
第1节 金属有机气相外延沉积、等离子体气相外延沉积、激光脉冲沉积
第2节 磁控溅射，原子层沉积, 半导体参数测试，椭偏测试

本科毕业于东北大学，2004年博士毕业于中国科学院金属研究所，2004-2007年在瑞典皇家理工学院任博士后助理研究员，2007年3月-至今任职于中国科学院宁波材料技术与工程研究所纳米材料与功能器件事业部，获得“团队行动”项目支持。2007年进入浙江省“新世纪151人才工程”第三层次培养计划，2012年进入宁波市领军拔尖人才培养工程第二层次，2018年入选浙江省万人科技创新领军人才计划。目前主持的项目有国家自然科学基金四项、中科院国际伙伴计划、科技部国际交流项目、浙江省钱江人才计划项目、宁波市基金项目，作为骨干参与国家重点基础研究发展计划、中科院创新团队国际合作伙伴计划项目、浙江省重点科技创新团队项目和宁波市科技创新团队项目。主持工业界合作项目四项。目前主要研究领域：新型氧化物、氮氧化物半导体薄膜，氧化物半导体电子/光电子/突触器件；新型光学薄膜材料及应用。已在Adv. Mater., Nano Energy, Appl. Phys. Lett., Phys. Rev. B, ACS Appl. Mater. Interfaces等国际核心刊物上发表了90余篇SCI论文(https://orcid.org/0000-0002-4458-4621)，他引1500余次；申请和授权国家发明专利近30项，先后指导、培养博士后、博士、硕士研究生近40名。