微纳加工技术（材料科学与工程）

课程编码：180092080503P3001H 英文名称：Micro-nano Machining Technology(Materials Science and Engineering) 课时：40 学分：2.00 课程属性：专业课 主讲教师：周玉琴

本课程为物理、化学、电子和材料等专业的研究生而设立，目的是使学生掌握各种微纳加工的基本原理，为未来研究打下材料和器件的制备基础。本课程综合介绍微纳米加工技术的基础，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，分析各种技术的优缺点。通过本课程的学习，学生不仅可以掌握微纳米器件制造的基本工艺和原理，同时也可以了解到当前最新的工艺趋势。

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第一章 微纳米加工技术简介 2.0学时 周玉琴
第1节 微纳米加工技术简介
第二章 光学曝光技术 4.0学时 周玉琴
第1节 光学曝光技术
第三章 电子束曝光技术 3.0学时 周玉琴
第1节 电子束曝光技术
第四章 聚焦离子束加工技术 3.0学时 周玉琴
第1节 聚焦离子束加工技术
第五章 扫描探针加工技术 3.0学时 周玉琴
第1节 扫描探针加工技术
第六章 复制技术 3.0学时 周玉琴
第1节 复制技术
第七章 沉积法图形转移技术 4.0学时 周玉琴
第1节 沉积法图形转移技术
第八章 刻蚀法图形转移技术 3.0学时 周玉琴
第1节 刻蚀法图形转移技术
第九章 间接纳米加工技术 2.0学时 周玉琴
第1节 间接纳米加工技术
第十章 自组装纳米加工技术 3.0学时 周玉琴
第1节 自组装纳米加工技术
第十一章 微纳米加工技术的应用 6.0学时 周玉琴
第1节 微纳米加工技术的应用

周玉琴，中国科学院大学材料科学与光电技术学院教授、博导。1989年到1998年，在中国科学技术大学物理系读完本科、硕士和博士。随后在中国科学院低温中心、日本（产业综合研究所）和法国（Ecole des Mines de Nancy）从事博士后研究工作。研究兴趣包括硅基光电材料与器件、透明导电材料和表面等离激元共振效应等。主讲《固体物理》、《固体材料》、《微纳加工技术》和《高等半导体物理》等研究生课程。多次获校级优秀课程奖，主讲的《高等半导体物理》曾被评为校级精品数字课程，获2016年宝钢优秀教师奖。