微纳传感器技术

课程编码：280216085408P3015 英文名称：Micro Sensor Technology 课时：40 学分：2.00 课程属性：专业课 主讲教师：邓惠勇等

通过本课程的学习，了解传感器的基本概念及发展动态；了解常用智能传感器种类、原理、制作方法、典型应用以及产业化趋势；能够融合材料、微电子、电子信息等学科知识，服务于现代化科创活动。

大学物理，数字电路，模拟电路

第一章 传感器概述 4学时 朱贺
第1节 传感器及其分类
第2节 传感器发展趋势
第二章 传感器特性与标定 6学时 朱贺
第1节 传感器的性能指标
第2节 传感器的误差及定标
第三章 传感器材料与工艺 12学时 朱贺
第1节 常用传感器材料
第2节 微纳加工工艺1
第3节 微纳加工工艺2
第4节 封装工艺
第四章 传感器原理与设计 12学时 朱贺
第1节 温度传感器
第2节 光学传感器
第3节 气体传感器
第4节 生物传感器
第五章 传感器技术的智能化发展 6学时 朱贺
第1节 传感器电路及信号处理
第2节 传感器技术的智能化发展

邓惠勇，长期从事红外成像探测材料与器件的研究。主持承担了基础加强计划课题、重点研究计划、国家重点研发计划子课题、国家自然科学基金、上海市自然科学基金和中科院前沿创新项目；参加了国家重大科学研究计划、国家基金委重大（学术秘书）、重点和中科院前沿重点等项目。朱贺，中国科学院大学副研究员，硕士生导师，目前为 国科大杭州高等研究院全职工作人员，入选杭州市西湖明珠工程青年拔尖人才，省级领军人才，2017年取得浙江大学无线电物理博士学位，2016-2017年于 德国马堡大学访问交流。研究兴趣包括光电子芯片设计及计算光学算法，开展在环境、生命等领域传感应用研究。以第一作者或通讯作者发表包括 InfoMat，Photonics Research，IEEE Transactions on Geoscience and Remote Sensing，Applied Physics Letters 等高水平期刊论文；主持包括国家自然科学基金面上项目、国家自然科学基金青年项目在内的多项国家级项目；作为科研骨干参与国自然重大项目“长波红外焦平面器件基 础理论与关键技术”、核高基重大专项“非制冷红外焦平面探测器的研发和产业化”、之江实验室大科学装置“多维智能感知大科学装置”等重大科学项目。