集成电路制造在线检测技术

课程编码：280227140100P4005 英文名称：On-line Metrology and Inspection of IC manufacturing 课时：20 学分：1.00 课程属性：研讨课 主讲教师：唐燕等

随着集成电路工艺微缩至10纳米以下技术节点，三维器件结构的导入，以及更多新半导体材料的应用；在线检测技术作为集成电路制程研发和品控的核心手段，变得前所未有的重要。在线检测技术和仪器是除高端光刻机外集成电路最精密和价值最高的设备，技术高度和精密程度不亚于光刻机。
本课程旨在围绕领域前沿发展，讲授和研讨集成电路在线检测技术。内容涵盖意义、检测方法及其理论基础、检测技术和仪器设备实例、典型应用案例和未来发展等。完整知识体系和丰富的教学内容能够为未来从事该领域技术研发、科学研究、实践应用培养高素质人才

大学普通物理

第一章 概论 3.0学时 唐燕
第1节 集成电路在线检测意义
第2节 集成电路在线检测特点
第3节 集成电路在线检测技术
第4节 集成电路在线检测现状与趋势
第二章 集成电路在线检测的理论基础 3.0学时 唐燕
第1节 计量学和统计学基础
第2节 集成电路在线检测的物理学基础
第3节 信号的数值分析基础
第三章 在线尺寸测量原理与技术 6.0学时 唐燕
第1节 薄膜厚度测量
第2节 关键尺寸测量
第3节 光刻套刻对准测量Overlay
第4节 晶圆衬底制造和先进封装制程中的在线测量
第四章 在线缺陷检测原理与技术 5.0学时 唐燕
第1节 集成电路制造工艺中的缺陷特征
第2节 光学明场缺陷检测
第3节 光学暗场缺陷检测
第4节 电子束缺陷检测
第5节 Actinic 极紫外掩模版缺陷检测技术
第五章 在线检测新技术 3.0学时 唐燕
第1节 集成电路在线检测新挑战
第2节 集成电路缺陷在线检测新技术

唐燕，研究员，博士生导师，“西部之光”人才计划，中国科学院青年创新促进会成员，四川省杰出科技青年。致力于集成电路专用检测装备整机及关键技术研究。作为项目负责人，主持国家自然科学基金青年、面上项目，“西部之光”重点项目，中国科学院科学仪器研发项目，四川省科技支撑计划，四川省重大仪器专项，四川省军用技术再研发专项等多个项目。发表论文40余篇，其中以第一作者/通讯作者发表SCI论文20余篇，申请国家发明专利20余项。