微纳加工及其在太赫兹科学技术中的应用

课程编码：180093080901P0004H 英文名称：Micro-Nano Fabrication and Its Applications in Terahertz Sciences and Technologies 课时：20 学分：1.00 课程属性：高级强化课 主讲教师：刘文鑫

了解太赫兹科学技术前沿，掌握太赫兹源研制的核心关键技术

微波技术

第一章 微纳加工技术简介 3.0学时 刘文鑫
第1节 介绍太赫兹科学技术的特点及应用
第2节 太赫兹源及其研究现状
第3节 微纳米技术与微纳米加工技术、基本过程、分类以及太赫兹对微纳加工技术的要求
第二章 光学曝光技术 3.0学时 刘文鑫
第1节 光学曝光方式原理与工艺过程
第2节 光刻胶的特性、光学掩膜的设计与制作及短波长曝光技术
第3节 光学曝光分辨率增强技术、厚胶曝光技术、LIGA技术（重点是X-LIGA）及其太赫兹真空器件中的应用
第三章 电子束曝光技术 3.0学时 刘文鑫
第1节 电子光学原理、电子束曝光系统
第2节 电子束曝光的邻近效应及其校正、低能电子束曝光、电子束抗蚀剂及其工艺
第3节 三维结构的制备、新型的电子束曝光技术及电子束技术在太赫兹器件的应用
第四章 聚焦离子束加工技术 2.0学时 刘文鑫
第1节 聚焦离子束系统的基本组成、基本功能与原理
第2节 聚焦离子束的三维纳米加工、聚焦离子束技术的发展
第五章 刻蚀技术 2.0学时 刘文鑫
第1节 薄膜沉积方法、纳米薄膜的表面剥离制备方法、 超光滑金属薄膜的制备
第2节 薄膜沉积技术制备微纳结构的方法、薄膜技术在太赫兹器件中的应用
第六章 薄膜技术 3.0学时 刘文鑫
第1节 薄膜沉积方法、纳米薄膜的表面剥离制备方法
第2节 超光滑金属薄膜的制备
第3节 薄膜沉积技术制备微纳结构的方法及其太赫兹器件中的应用
第七章 微纳加工在太赫兹电子学领域的应用 2.0学时 刘文鑫
第1节 测量电极、电导特性与器件、场发射特性与器件
第2节 超导电性与器件、太赫兹纳米电路
第八章 微纳加工在太赫兹光学领域的应用 2.0学时 刘文鑫
第1节 表面等离激元、超材料
第2节 光子晶体、发光器件及其他

刘文鑫，IET Fellow, IEEE Senior Member,博士，研究员，中科院电子所“菁英人才计划”、中国电子学会“优秀科技工作者”，科技部评审专家，从事太赫兹真空电子器件研究，承担国家重点研究计划等科研项目20余项。以排名第一获得2017年度军队科技进步二等奖。发表论文150篇，SCI收录30余篇，国际国内特邀报告15次，授权发明专利4项，软著5项，是PIERS2019的Session Chair、CSQRWC2019的CoChair、ISMMM2019和ICOIT会议TPC，CSQWRC2020会议共主席。