先进集成电路制造品质控制
课程编码：180202085403P3004H
英文名称：Quality Control for Advanced IC Manufacturing
课时：40
学分：2.00
课程属性：专业课
主讲教师：李春龙等
教学目的要求
本课程为微电子学及半导体相关专业学科研究生的专业课。本课程在半导体器件、工艺的基础上，从理论到应用讲授先进集成电路制造品质控制。集成电路制造被誉为“现代制造业的皇冠”，设备精密，工艺繁杂，如何控制好几百步制造工艺的品质，确保交付高良率（Yield）的合格产品，是先进集成电路制造的关键课题。本课程主要内容包括：集成电路制造品质控制体系概要、来料品质控制、过程品质控制、出料品质控制、品质控制基本工具（SPC，FMEA，DOE等）、工程变更管理、工程异常管理等。通过本课程学习，可使学生对先进集成电路制造品质控制有系统了解，为毕业后从事集成电路相关研发、量产工作奠定基础。
预修课程
半导体器件、集成电路工艺
大纲内容
第一章 先进集成电路制造概要 3学时 王桂磊
第1节 集成电路制造基本概念
第2节 集成电路基本工艺流程
第3节 集成电路企业日常运营与管理
第二章 先进集成电路制造品质控制系统 3学时 李春龙
第1节 品质控制的发展简史
第2节 FAB品质控制特点
第3节 FAB品质控制模块
第4节 FAB品质控制其它内容
第三章 来料控制(IQC)及供应商管理 3学时 李春龙
第1节 原材料分类
第2节 原材料检验方法
第3节 原材料来料COA控制
第4节 原材料规格书
第5节 新原材料导入
第6节 原材料供应商管理
第四章 过程控制(PQE) 3学时 李春龙
第1节 PQE基本概念
第2节 PQE职能
第3节 PQE管理中对应的制程监控模块
第4节 PQE管理中对应的制程管理模块
第5节 PQE管控中的其它模块
第五章 出货检验及控制(OQC) 3学时 李春龙
第1节 OQC基本概念
第2节 OQC基本方法
第3节 OQC异常处理
第4节 客户要求
第六章 品质控制体系(QSM) 3学时 李春龙
第1节 QSM基本职能
第2节 QSM计划方法和要求
第3节 内审流程和方法
第七章 品质控制工具：统计过程控制(SPC) 6学时 李春龙
第1节 SPC基本概念
第2节 SPC计算方法
第3节 SPC分类管控
第4节 SPC管控以及持续改善机制
第5节 SPC设计原则
第八章 品质控制工具：失效模式及影响分析(FMEA) 4学时 王桂磊
第1节 FMEA基本概念
第2节 FMEA基本设计
第3节 FMEA管控原则
第九章 品质控制工具：实验设计(DOE) 6学时 王桂磊
第1节 DOE基本概念
第2节 DOE设计
第3节 DOE实例
第十章 工程变更控制(FECP) 3学时 李春龙
第1节 FECP基本概念
第2节 FECP管理
第3节 FECP设计
第十一章 工程异常控制 3学时 李春龙
第1节 工程异常概念
第2节 第一节 工程异常处理流程
参考书
课程教师信息
李春龙（北京子牛亦东科技有限公司）
李春龙，博士，正高级工程师，博士生导师。北京子牛亦东科技有限公司副总经理，COO。曾任中芯国际质量部经理、中芯国际资深技术经理、武汉新芯总监、长江存储总监、中科院微电子所存储器中心主任。长期从事集成电路先导工艺研发和8/12英寸Fab生产运营管理工作，包括180nm-14nm逻辑产品、32-128层3D NAND存储产品等。作为核心骨干，参与国家重大科技专项（02专项）四项。作为主要完成人，获2014年“中国科学院年度杰出科技成就奖” 。2016年入选 “中国科学院关键技术人才”。2017年获中科院微电子所“十佳先进工作者”。发表论文近30篇，申请中国专利近100项、美国专利近10项。
王桂磊（北京超弦存储器研究院）
男，博士，研究员，现任北京超弦存储器研究院（以下简称“研究院”）首席科学家，负责新材料和装备验证部、工艺集成部的管理和研发工作，主持国家重点研发计划项目课题。曾任中国科学院微电子研究所研究员、硕士生导师、入选中国科学院青促会优秀会员人才计划，在中国科学院大学教授研究生课程。曾主持国家重点研发计划课题、中科院人才创新项目、合肥国家实验室等课题。迄今出版英文专著1部，英文编著1部，英文章节2章，中文专著2章节，在IEDM、VLSI、IEEE EDL、IEEE TED、Nano Research Lett.、JAP等国际会议和重要学术期刊上发表学术论文130余篇，引用1420次，H因子18；国内国际专利申请245项，目前获得中国发明专利授权65项，美国授权专利13项。在国内、国际学术会议做邀请报告10次。2018 年欧洲材料研究会（E-MRS）春季会议技术委员会（TPC）委员。担任IEEE TED，JMSE ，Journal of Crystal Growth等期刊审稿人。2020年起担任SCI期刊 Nanomaterials (IF:5.076)客座编辑。曾获得欧洲材料学研究会“青年科学家奖”，中国科学院王守武奖学金优秀奖，中国科学院院长优秀奖，中国科学院百篇优秀博士论文，中国科学院微电子所“十佳”工作者，Springer Nature 优秀博士论文，中国科学院大学优秀课程奖。