等离子体工程
课程编码：180092080503P3004H
英文名称：Plasma Engineering
课时：40
学分：2.00
课程属性：专业课
主讲教师：陈广超等
教学目的要求
本课程是通过教学，使学生能够掌握等离子体的概念、等离子体的产生方法、等离子体的诊断技术以及等离子体在材料科学与工程、双碳技术中的应用。正确选择材料制备中的等离子体制备技术，了解选择温室气体的等离子体催化和固化方法；掌握等离子体的光发射谱、朗缪探针、法拉第桶等诊断技术；懂得直流电弧、射频和微波、激光等离子体激发方法。
预修课程
大学物理、普通化学、高等数学
大纲内容
第一章 等离子体的基本概念
第1节 等离子体的性质 2学时 陈广超
第2节 等离子体的基本参数 2学时 封红青
第3节 等离子体的基本输运特性 2学时 封红青
第4节 等离子体的化学特性 2学时 封红青
第二章 等离子体的产生技术 10学时 陈广超
第1节 直流法
第2节 射频法和微波法
第3节 激光法
第三章 等离子体的诊断技术 8学时 封红青
第1节 等离子体的光学诊断技术
第2节 等离子体的电学诊断技术
第四章 等离子体的应用 8学时 封红青
第1节 等离子体在材料制备中的应用
第2节 等离子体在材料加工中的应用
第3节 等离子体在温室气体固化中的应用
第4节 等离子体对气体的催化作用
第五章 大气压非平衡等离子体 6学时 封红青
第1节 大气压非平衡等离子体的产生
第2节 大气压非平衡等离子体的诊断
第3节 大气压非平衡等离子体的应用
教材信息
1、
Plasma Engineering，
Keidar, Michael
2018-08
Academic Press出版社
参考书
1、
1、《等离子体物理学导论》
2、《等离子体发射光谱分析》（第三版）
3、《等离子体技术基础》
陈凤翔(Francis F. Chen)著、林光海译，
辛仁轩，
乔·山·王(Chiow San Wong)
2023-01-01；
2018-03；
2022-09
科学出版社，
化学工业出版社，
中国宇航出版社
课程教师信息
陈广超，教授，博导，入选中科院人才计划和北京人才计划，从事碳材料研究和等离子体工程研究。
封红青，国科大材料科学与光电技术学院副教授，博士生导师。毕业于北京大学，博士后就职于香港城市大学。2020年入职国科大，20年和21年承担《微纳生物电子学》课程教学任务。获得国自然优青、国科大优秀教师科研能力提升项目等研究基金支持。获北京市科学技术奖二等奖、魏桥国科校长奖教金等奖励。发表SCI论文50余篇，包括Nature Communications, Nano Today, Biomaterials等。研究方向为等离子体的生物医学应用、界面电子传递与生物的相互作用等。