几何量先进测量技术及仪器

课程编码：180092080401P3001H 英文名称：Advanced Geometric Quantity Measurement Technology and Instrument 课时：40 学分：2.00 课程属性：专业课 主讲教师：曹学东等

本课程是专业普及课，通过本课程的学习，学生能够了解几何量测量技术的发展历程、几何量测量基础知识、超精密几何参数先进测量方法、超精密几何参数先进测量仪器工作原理等。

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第一章 几何量测量基础知识及几何量测量传感器 2学时 曹学东
第1节 几何量测量技术基础知识
第2节 几何量测量传感器
第二章 长度及坐标测量及仪器 6学时 李杰
第1节 长度量值传递系统
第2节 量块
第3节 长度尺寸测量仪器
第4节 无导轨测长
第5节 其它长度计量仪器/量具
第6节 坐标测量及仪器
第三章 角度测量及仪器 3学时 曹学东
第1节 国家角度检定系统
第2节 水平仪
第3节 自准直仪
第4节 光学经纬仪
第5节 正多面棱体
第6节 多齿分度台
第四章 几何公差测量技术及仪器 5学时 曹学东
第1节 几何公差基本知识
第2节 直线度误差测量技术及仪器
第3节 平面度误差测量技术及仪器
第4节 平行度误差测量技术及仪器
第5节 垂直度误差测量技术及仪器
第6节 圆度/圆柱度误差测量技术及仪器
第7节 同心度/同轴度误差测量技术及仪器
第五章 超光滑表面加工及表面粗糙度测量 3学时 曹学东
第1节 表面粗糙度基本知识
第2节 针描法测量表面粗糙度
第3节 白光干涉法测量表面粗糙度
第4节 扫描隧道显微镜测量表面粗糙度
第5节 原子力显微镜测量表面粗糙度
第6节 超光滑表面加工及测量
第六章 光学元件几何参数测量概述 2学时 李杰
第1节 常用光学元件简介
第2节 现代光学元件的发展及其对光学测量的需求
第七章 光学元件面形偏差的测量 9学时 李杰
第1节 面形偏差的定义及公差表述
第2节 面形偏差测量的多项式拟合
第3节 光学元件面形的种类
第4节 光学元件面形偏差的测量方法及仪器
第八章 光学元件半径、中心偏及微结构测量 1学时 李杰
第1节 光学元件半径的测量
第2节 透镜及反射镜中心偏测量
第3节 衍射光学元件的测量
第九章 光刻机中的超精几何量测量技术及仪器 3学时 曹学东
第1节 光刻机的发展及测量需求
第2节 光刻机对准中的测量技术
第3节 光刻机工件台及其几何精度测量
第4节 工件台定位精度测量
第十章 大型光电望远镜中的超精几何量测量技术及仪器 4学时 曹学东
第1节 光电望远镜发展及几何量测量需求
第2节 大型光电望远镜机架测量
第3节 大型光电望远镜测角系统测量
第4节 大型光电望远镜跟踪精度测量
第5节 大型光电望远镜测角总精度测量

曹学东，硕士，研究员级高级工程师，硕士生导师，就职于中国科学院光电技术研究所，主要从事几何量及光学精密测试技术研究，担任全国量具量仪标准化技术委员会数显装置分技术委员会主任委员，全国光电测量标准化技术委员会委员，全国几何量工程参量计量技术委员会委员；主持完成大型光电望远镜检测技术研究、编码器动态测角仪研制等课题；发表论文40余篇，获中国科学院自然科学奖三等奖1项。李杰，博士，副研究员，硕士生导师，就职于中国科学院光电技术研究所，全国几何量及长度计量技术委员会委员，全国产品几何技术规范标准化技术委员会委员，中国科学院西部之光西部青年学者；主要从事几何量及光学精密测试技术研究；作为项目负责人和主研人员，承担和参与国家“863”高技术研究项目、科技部国家重点研发专项、国家重大科研装置研制项目、军科委项目、省科技计划重点项目。