光电材料的制备与性能检测
课程编码：1800920805Z2P5001H
英文名称：Preparation and Characterization of Electro-optical Materials
课时：40
学分：1.00
课程属性：实验课
主讲教师：周玉荣
教学目的要求
通过本课程的学习，让硕士研究生掌握常见的光电材料制备和表征方法
预修课程
固体物理
大纲内容
第一章 光电材料概述 2.0学时 周玉荣
第1节 光电材料概述
第二章 利用磁控溅射沉积IGZO材料 3.0学时 周玉荣
第1节 利用磁控溅射沉积IGZO材料
第三章 利用磁控溅射沉积IZO膜 3.0学时 周玉荣
第1节 利用磁控溅射沉积IZO膜
第四章 利用PECVD沉积a-Si：H（i）薄膜 3.0学时 周玉荣
第1节 利用PECVD沉积a-Si：H（i）薄膜
第五章 利用PECVD沉积掺杂多晶硅膜 3.0学时 周玉荣
第1节 利用PECVD沉积掺杂多晶硅膜
第六章 利用反应离子镀沉积ICO膜 3.0学时 周玉荣
第1节 利用反应离子镀沉积ICO膜
第七章 利用RPD沉积透明导电膜 3.0学时 周玉荣
第1节 利用RPD沉积透明导电膜
第八章 利用ALD沉积氧化铝薄膜 3.0学时 周玉荣
第1节 利用ALD沉积氧化铝薄膜
第九章 利用热蒸发制备MoOx膜 3.0学时 周玉荣
第1节 利用热蒸发制备MoOx膜
第十章 钙钛矿光电探测器的制备与表征 3.0学时 周玉荣
第1节 钙钛矿光电探测器的制备与表征
第十一章 发光二级管的制备与表征 3.0学时 周玉荣
第1节 发光二级管的制备与表征
第十二章 半导体材料中载流子浓度、迁移率测试 3.0学时 周玉荣
第1节 半导体材料中载流子浓度、迁移率测试
第十三章 利用椭偏谱仪、分光光度计测试材料的n、k值 2.0学时 周玉荣
第1节 利用椭偏谱仪、分光光度计测试材料的n、k值
第十四章 光电器件的光响应度、量子效率测试 2.0学时 周玉荣
第1节 光电器件的光响应度、量子效率测试
参考书
课程教师信息
周玉荣，中国科学院大学材料与光电学院副教授，主要从事半导体材料与器件方面的研究工作