薄膜晶体管原理及其应用

课程编码：180202140100P4003H 英文名称：Principle and Applications of Thin-film transistors 课时：20 学分：1.00 课程属性：研讨课 主讲教师：李蒙蒙

本课程对薄膜晶体管的器件物理、制造工艺及其主要应用进行讲解。课程内结合薄膜晶体管的经典/新型半导体材料及器件结构，从单个器件的原理引入，逐步拓展到大面积阵列，最后已显示技术为主介绍了薄膜晶体管的应用。通过该课程的学习，让学生能掌握主流薄膜晶体管的物理基础、制造工艺及具体应用。

半导体器件物理

第一章 场效应晶体管基础及薄膜加工技术 3.0学时 李蒙蒙
第1节 场效应晶体管的器件结构和工作原理
第2节 真空热蒸发及溅射镀膜工艺
第3节 经典薄膜加工技术
第4节 光刻技术与刻蚀技术
第二章 非晶硅薄膜晶体管 2.0学时 李蒙蒙
第1节 非晶硅薄膜晶体管的工作原理和特性
第2节 非晶硅薄膜晶体管的关键材料及稳定性
第三章 低温多晶硅薄膜晶体管 3.0学时 李蒙蒙
第1节 低温多晶硅结构、形貌与载流子传输
第2节 LTPS TFT的工作原理与特性
第3节 LTPS TFT结构、制造工艺与性能
第四章 金属氧化物薄膜晶体管 4.0学时 李蒙蒙
第1节 IGZO薄膜晶体管的工作原理
第2节 IGZO半导体薄膜的制备工艺
第3节 IGZO薄膜晶体管的结构及性能
第4节 IGZO薄膜晶体管在信息存储方面的应用
第五章 有机薄膜晶体管 2.0学时 李蒙蒙
第1节 有机半导体中的电子状态与载流子
第2节 有机薄膜晶体管的结构与特性
第六章 TFT-LCD显示技术 4.0学时 李蒙蒙
第1节 平板显示器的几何构成与性能参数
第2节 TFT-LCD的驱动原理和驱动系统
第3节 TFT-LCD的像素构架
第4节 非晶氧化硅TFT背板的显示驱动和像素电路
第5节 低温多晶硅TFT背板制造技术
第七章 TFT-LCD显示技术 4.0学时 李蒙蒙
第1节 平板显示器的几何构成与性能参数
第2节 TFT-LCD的驱动原理和驱动系统
第3节 TFT-LCD的像素构架
第八章 有机发光显示技术 2.0学时 李蒙蒙
第1节 OLED显示器的有源驱动技术
第2节 AMOLED的像素补偿电路
第3节 AMOLED背板制造技术

李蒙蒙，男，博士毕业于德国马克思普朗克高分子研究所，师从欧洲科学院院士、美国艺术与科学院院士Klaus Müllen教授。博士毕业后加入荷兰埃因霍温理工大学René Janssen教授（荷兰皇家艺术与科学院院士）课题组从事独立博士后研究工作，作为项目负责人分别主持欧盟玛丽居里独立项目（Marie Sk?odowska-Curie Individual Fellowship）和荷兰科学研究组织Veni项目。2019年全职回国加入中国科学院微电子研究所任研究员，并任中国科学院大学岗位教授。主要研究方向为新型柔性电子器件，重点开展半导体薄膜材料性能调控、电荷输运性质、晶体管器件/电路及在生物电子和可穿戴设备的应用研究。迄今为止，在Nature Commun., Adv. Mater., Angew. Chem. Int. Ed., ACS Nano等权威期刊发表SCI文章60余篇，引用超4200次（谷歌学术）。曾获“国家优秀自费留学生奖学金”、“山东省自然科学二等奖”、国际显示大会“青年领袖”、Nanoscale“新锐科学家”等奖项，入选中组部国家级高层次引进人才计划、科技委团队项目首席科学家、北京市朝阳区青年联合会委员。主持科技部国家重点研发项目课题、基金委面上项目、中科院重点部署项目课题等科研项目。