集成电路制造在线检测技术

课程编码：180202140100P4005H 英文名称：On-line Metrology and Inspection of IC manufacturing 课时：20 学分：1.00 课程属性：研讨课 主讲教师：周维虎等

随着集成电路工艺微缩至10纳米以下技术节点，三维器件结构的导入，以及更多新半导体材料的应用；在线检测技术作为集成电路制程研发和品控的核心手段，变得前所未有的重要。在线检测技术和仪器是除高端光刻机外集成电路最精密和价值最高的设备，技术高度和精密程度不亚于光刻机。
本课程旨在围绕领域前沿发展，讲授和研讨集成电路在线检测技术。内容涵盖意义、检测方法及其理论基础、检测技术和仪器设备实例、典型应用案例和未来发展等。完整知识体系和丰富的教学内容能够为未来从事该领域技术研发、科学研究、实践应用培养高素质人才

大学普通物理

第一章 概论 3学时 周维虎
第1节 集成电路在线检测意义
第2节 集成电路在线检测特点
第3节 集成电路在线检测技术
第4节 集成电路在线检测现状与趋势
第二章 集成电路在线检测的理论基础 3学时 刘立拓
第1节 计量学和统计学基础
第2节 集成电路在线检测的物理学基础
第3节 信号的数值分析基础
第三章 在线尺寸测量原理与技术 6学时 刘立拓
第1节 薄膜厚度测量
第2节 关键尺寸测量
第3节 光刻套刻对准测量Overlay
第4节 晶圆衬底制造和先进封装制程中的在线测量
第四章 在线缺陷检测原理与技术 5学时 周维虎
第1节 集成电路制造工艺中的缺陷特征
第2节 光学明场缺陷检测
第3节 光学暗场缺陷检测
第4节 电子束缺陷检测
第5节 Actinic 极紫外掩模版缺陷检测技术
第五章 在线检测新技术 3学时 周维虎
第1节 集成电路在线检测新挑战
第2节 集成电路缺陷在线检测新技术

? 周维虎，博士，中国科学院微电子研究所, 光电中心，正高级工程师，博士生导师
中国科学院微电子研究所二级研究员，光电中心集成电路检测组首席技术专家，具有近40年精密光电检测技术研究及精密仪器研发经历，在光电领域具有很高的理论水平和丰富的实践经验，申请发明专利 45 项（授权 32 项），登记软件著作权 5 项，发表论文 131 篇（SCI/EI 57 篇），培养研究生 78 人，其中博士研究生 29 人，硕士研究生 49 人，先后获得中国机械工业技术发明特等奖、中国机械工业技术进步一等奖、中国计量测试学会技术发明一等奖等奖励，获得国务院特殊津贴。
? 刘立拓，博士，中国科学院微电子研究所 光电中心，副研究员，硕士生导师
中国科学院微电子研究所光电中心集成电路检测组组长，全国集成电路测试专委会委员，国家集成电路重大专项（ 02专项）技术骨干，长期从事集成电路光学检测技术研究与仪器设备研发。主持国家自然科学基金项目“晶圆表面纳米颗粒及成分检测技术研究”、国家重点研发计划课题“光学元件亚表面缺陷原位测量算法与软件开发”、装发预研项目“晶圆xx缺陷检测技术”等多个项目和课题，在明暗场光学检测技术、相干衍射成像技术及亚表面缺陷检测技术等方面具有多年的研究积累。同时，目前作为总负责人，与企业联合开发“60-45nm缺陷检测光学系统设计与工程化样机研制”项目。