MEMS传感器：从设计到应用

课程编码：180202140100P4002H 英文名称：MEMS Sensors: From design to applications 课时：20 学分：1.00 课程属性：研讨课 主讲教师：毛海央等

本课程的目的在于通过学习几种典型MEMS传感器的研制过程和应用示范，让学生了解和掌握MEMS传感器的工作原理、典型材料、结构设计、工艺制造、封装测试过程，以及MEMS传感器如何实现终端应用。
通过本课程的学习，要求了解和掌握典型MEMS传感器的基本原理、设计规则、制造工艺和测试方法，对于MEMS传感器具备清晰认识并具有解决相关问题的能力。

大学物理、传感器技术

第一章 绪论 1学时 毛海央
第1节 MEMS传感器的产品研发思路概述
第二章 MEMS热电堆红外传感器 5学时 周娜
第1节 MEMS热电堆红外传感器概述
第2节 MEMS热电堆红外传感器设计
第3节 MEMS热电堆红外传感器封测与应用
第三章 MEMS红外气体传感器 6学时 周娜
第1节 MEMS红外气体传感器概述
第2节 MEMS红外光源研制
第3节 MEMS红外气体传感器制作
第四章 MEMS湿度传感器 6学时 毛海央
第1节 MEMS湿度传感器概述
第2节 商用MEMS湿度传感器研制
第3节 新型MEMS湿度传感器前沿研究
第4节 新型MEMS湿度传感器的前沿应用

毛海央，中国科学院微电子所研究员，博士生导师，中科院青促会优秀会员，主要从事纳米材料与MEMS传感器研究。主持包括国家自然科学基金项目、国家重点研发计划课题、创新项目、预研项目、中科院青促会（优秀）项目、省级重点研发计划等20余个科研项目以及多个传感器产业化项目。在Advanced Functional Materials、Small、ACS Sensors、Microsystem & Nanoengineering 等期刊以及IEEE MEMS等国际会议上发表论文100余篇；申请专利90余项，已授权专利53项。在产业化方面，围绕MEMS热电堆传感器和MEMS湿度传感器开发了十余款产品，出货量达数千万颗（套）。
周娜，博士，毕业于中国科学院物理研究所，现为中国科学院微电子研究所高级工程师，硕士生导师，中国科学院青促会会员。主要从事半导体先进工艺、MEMS硅基传感器的研发工作，基于CMOS工艺技术开发了MEMS红外传感器、气体传感器和湿度传感器的全套制造工艺。曾先后主持和参与包括中科院先导A项目、科技部QBZ项目、国家自然科学基金项目、国家重点研发计划课题、省级重点研发计划以及企业横向项目等在内的10多个科研项目以及多个传感器产业化项目。截至目前，以第一作者和合作作者在Microsystems & Nanoengineering、ChemSusChem、IEEE Electron Device Letters、Applied Physics Letters、Journal of Physics D-Applied Physics等国际著名学术期刊、国内核心学术期刊、国内外重要学术会议等上发表论文35篇；申请发明专利71项，已授权专利20余项。