课程大纲

课程大纲

光电材料的制备与性能检测

课程编码:080502M08003H 英文名称:Preparation and Characterization of Electro-optical Materials 课时:40 学分:1.00 课程属性:实验课 主讲教师:周玉荣

教学目的要求
本课程为半导体、微电子专业硕士生和博士生的实验课,主要实验内容为半导体材料和器件的制备与表征,通过本实验课的学习掌握常用半导体材料的光、电特性表征方法及原理,掌握常见器件(pn结、场效应管、肖特基结等)的设计、制备与表征方法,进一步加深对器件结构、原理的理解。

预修课程
半导体材料

大纲内容
第一章 光电材料的制备与表征概述 4学时
第1节 半导体器件的制备与表征概述
第二章 氢化非晶硅薄膜的制备及应用 8学时
第1节 氢化非晶硅薄膜的制备与表征
第2节 非晶硅薄膜场效应管的制备与表征
第三章 透明导电膜的制备与应用 8学时
第1节 ITO薄膜的制备与表征
第2节 IGZO薄膜场效应管的制备与表征
第四章 钙钛矿材料的制备及应用 8学时
第1节 钙钛矿光电探测器的制备及表征
第2节 钙钛矿发光二极管的制备与表征
第五章 多晶硅薄膜的制备与应用 8学时
第1节 掺杂多晶硅薄膜的制备与表征
第2节 TOPcon太阳电池的制备与表征
第六章 半导体材料的制备与表征 4学时
第1节 半导体材料载流子浓度、迁移率测试

教材信息
1、 半导体器件物理与工艺 施敏 苏州大学出版社 2014.4

参考书
1、

课程教师信息