半导体材料测试与分析

课程编码：080501M05001H 英文名称：Characterization of Semiconductor Materials 课时：50 学分：3.00 课程属性：专业普及课 主讲教师：金鹏等

本课程为半导体材料相关领域研究生的学科基础课。主要讲授半导体材料科研和生产中常用的测试原理、实验技术和数据分析方法。通过本课程的教学，使学生了解常用的半导体材料电学、光学、结构和成分检测与分析方法，掌握电阻率测量、扩展电阻测量、电容-电压测量、霍尔效应、深能级瞬态谱技术、载流子寿命测量、光致发光、扫描探针显微技术、高分辨X射线衍射技术、紫外光电子能谱、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱、二次离子质谱、卢瑟福背散射等方法的原理、技术和分析方法。

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第一章 绪论 2学时
第1节 绪论
第二章 测量与误差 2学时
第1节 测量与误差
第三章 电学性质测试与分析 8学时
第1节 电阻率测量
第2节 扩展电阻测量
第3节 霍尔效应测量
第4节 电容-电压测量
第四章 深能级的测试与分析 4学时
第1节 深能级瞬态谱
第2节 热激电流谱
第五章 载流子寿命测量 4学时
第1节 载流子复合寿命的测量
第2节 载流子产生寿命的测量
第六章 光学性质测试与分析 7学时
第1节 光致发光光谱
第2节 椭圆偏振光谱
第3节 反射差分光谱
第七章 扫描探针显微技术 5学时
第1节 扫描隧道显微技术
第2节 原子力显微技术
第3节 扫描近场光学显微技术
第4节 其它扫描探针显微技术
第八章 高分辩X射线衍射技术 6学时
第1节 X射线衍射
第2节 高分辨X射线衍射
第九章 电子能谱技术 6学时
第1节 电子能谱技术基础知识
第2节 紫外光电子能谱原理与实验方法
第3节 俄歇电子能谱原理与实验方法
第4节 X射线光电子能谱原理与实验方法
第5节 半导体材料的XPS测试分析研究
第十章 离子质谱技术 4学时
第1节 离子质谱技术基础知识
第2节 二次离子质谱原理与实验方法
第3节 半导体材料的二次离子质谱测试分析研究
第4节 卢瑟福背散射原理与实验方法
第5节 半导体材料的卢瑟福背散射测试分析研究
第十一章 随堂考试 2学时
第1节 随堂考试

金鹏，中国科学院半导体研究所研究员，中国科学院大学岗位教授，博士生导师。已先后承担国家“973”计划项目、国家重大科研装备研制项目、国家自然科学基金项目等多项。已在国内外学术期刊上发表论文百余篇（包括合著），申请和获得授权国家发明专利多项（包括合作申请）。目前的研究兴趣包括半导体量子结构材料与器件、半导体金刚石材料与器件和相关科学仪器等。正在承担国家重点研发计划、北京市科技计划、中科院先导专项等项目或课题。