TCAD仿真技术

课程编码：085402M06001H 英文名称：TCAD Simulation 课时：30 学分：1.50 课程属性：专业研讨课 主讲教师：毕津顺

本课程是为电子科学与技术、微电子技术、集成电路设计与制造等专业的硕士研究生开设的课程。半导体工艺和器件仿真软件TCAD（Technology Computer Aided Design），采用数值仿真的方法，可以对不同的工艺条件进行模拟，也可以对不同的器件结构进行优化，从而获得理想的电学特性。教学方式为教师讲授基本原理和技术，引导学生进行文献阅读和调研，通过具体实例和项目掌握TCAD仿真技术。通过本课程的学习，希望能够提高学生从事科学研究的能力，更深入的掌握TCAD的概念与实用方法，为进一步学习其它专业课和从事专业研究打下基础。

集成电路制造工艺、半导体器件物理

第一章 TCAD技术概述 3学时
第1节 具体名称1
第2节 具体名称2
第3节 具体名称3
第4节 具体名称4
第5节 具体名称5
第6节 具体名称6
第7节 具体名称7
第8节 具体名称8
第9节 具体名称9
第二章 集成电路制造工艺基础 3学时
第1节 具体名称10
第2节 具体名称11
第三章 半导体器件物理基础 3学时
第1节 具体名称12
第2节 具体名称13
第四章 半导体数值仿真基础 3学时
第1节 具体名称14
第2节 具体名称15
第五章 TCAD半导体工艺仿真 3学时
第1节 具体名称16
第2节 具体名称17
第六章 TCAD半导体器件仿真 3学时
第1节 具体名称18
第2节 具体名称19
第七章 TCAD混合仿真与结果查看 3学时
第1节 具体名称20
第2节 具体名称21
第八章 TCAD半导体器件结构编辑 3学时
第1节 具体名称22
第2节 具体名称23
第九章 Silvaco TCAD工具 3学时
第1节 具体名称24
第2节 具体名称25
第十章 Cogenda TCAD工具 3学时
第1节 具体名称26
第2节 具体名称27

毕津顺，博士学位，中国科学院微电子研究所研究员，中国科学院大学岗位教授，加拿大萨斯喀彻温大学兼职教授，北京交通大学兼职教授，中国科学院青年创新促进会成员，国家自然科学基金项目评议人，中国核学会辐射物理分会理事。2013年北京地区微电子博士生论坛技术委员会委员，2016年北京微电子研究生学术论坛技术委员会委员，2017年极端环境微纳电子器件可靠性国际研讨会组委会主席，担任国内外20余种期刊和会议的审稿人。主要从事半导体器件和集成电路辐照效应、抗辐射加固技术及应用研究。主持国防创新项目、预研项目、自然基金重点项目和面上项目多项，参与国家重大科技专项、国家自然基金创新研究群体项目、自然科学基金委–中国科学院大科学装置科学研究联合基金项目和中科院国际合作项目等10余项。已出版译著两部，发表各类学术论文100余篇，申请专利共计63项，其中已授权专利共计37项，并部分实现了成果转化。